Optimización del diseño y funcionamiento de un sensor de gas MEMS basado en FGMOS

dc.contributor.author	Sacramento Orduño, Ángel
dc.date.accessioned	2021-05-27T22:00:13Z
dc.date.available	2021-05-27T22:00:13Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.uri	https://repositorio.cinvestav.mx/handle/cinvestav/2724
dc.format	pdf
dc.format.extent	xiv, 97 p. : il. ; 28 cm.
dc.language.iso	spa
dc.publisher	Tesis (M.C.)--Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del I.P.N. Departamento de Ingeniería Eléctrica/Sección de Electrónica del Estado Sólido
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.63
dc.subject.classification	INGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.subject.other	Microelectromechanical systems\|\|Microelectronic packaging\|\|Gas-detectors::Design and construction\|\|Dissertations, Academic
dc.title	Optimización del diseño y funcionamiento de un sensor de gas MEMS basado en FGMOS
dc.type	masterThesis
dc.contributor.director	Reyes Barranca, Mario Alfredo
dc.identificator	7
dc.coverage.placeofpublication	México, D. F.
dc.description.institution	CINVESTAV
dc.description.unidad	Zacatenco-CDMX
dc.thesis.area	Tecnología y Ciencias de la Ingeniería
dc.thesis.degreedepartment	Ingeniería Eléctrica
dc.thesis.degreediscipline	Sección de Electrónica del Estado Sólido
dc.rights.access	openAccess

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