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Optimización del diseño y funcionamiento de un sensor de gas MEMS basado en FGMOS

dc.contributor.authorSacramento Orduño, Ángel
dc.date.accessioned2021-05-27T22:00:13Z
dc.date.available2021-05-27T22:00:13Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.urihttps://repositorio.cinvestav.mx/handle/cinvestav/2724
dc.formatpdf
dc.format.extentxiv, 97 p. : il. ; 28 cm.
dc.language.isospa
dc.publisherTesis (M.C.)--Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del I.P.N. Departamento de Ingeniería Eléctrica/Sección de Electrónica del Estado Sólido
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.63
dc.subject.classificationINGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.subject.otherMicroelectromechanical systems||Microelectronic packaging||Gas-detectors::Design and construction||Dissertations, Academic
dc.titleOptimización del diseño y funcionamiento de un sensor de gas MEMS basado en FGMOS
dc.typemasterThesis
dc.contributor.directorReyes Barranca, Mario Alfredo
dc.identificator7
dc.coverage.placeofpublicationMéxico, D. F.
dc.description.institutionCINVESTAV
dc.description.unidadZacatenco-CDMX
dc.thesis.areaTecnología y Ciencias de la Ingeniería
dc.thesis.degreedepartmentIngeniería Eléctrica
dc.thesis.degreedisciplineSección de Electrónica del Estado Sólido
dc.rights.accessopenAccess


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Nombre:
SSIT0013558.pdf
Tamaño:
5.004Mb
Formato:
PDF
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