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Diseño y análisis de un micromotor angular basado en tecnologia CMOS-MEMS

dc.contributor.authorSánchez Márquez, Luis
dc.date.accessioned2021-05-29T00:22:57Z
dc.date.available2021-05-29T00:22:57Z
dc.date.issued2018
dc.identifier.urihttps://repositorio.cinvestav.mx/handle/cinvestav/2853
dc.formatpdf
dc.format.extentxii, 114 p. : il. ; 28 cm.
dc.language.isospa
dc.publisherTesis (M.C.)--Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del I.P.N. Departamento de Ingeniería Eléctrica/Sección de Electrónica del Estado Sólido
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.63
dc.subject.classificationINGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.subject.otherMicroelectromechanical systems||Microelectronics||Microelectronic packaging||Dissertations, Academic
dc.titleDiseño y análisis de un micromotor angular basado en tecnologia CMOS-MEMS
dc.typemasterThesis
dc.contributor.directorReyes Barranca, Mario Alfredo
dc.contributor.directorAbarca Jiménez, Griselda Stephany
dc.identificator7
dc.coverage.placeofpublicationCiudad de México
dc.description.institutionCINVESTAV
dc.description.unidadZacatenco-CDMX
dc.thesis.areaTecnología y Ciencias de la Ingeniería
dc.thesis.degreedepartmentIngeniería Eléctrica
dc.thesis.degreedisciplineSección de Electrónica del Estado Sólido
dc.rights.accessopenAccess


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Name:
SSIT0015637.pdf
Size:
7.158Mb
Format:
PDF
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