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Obtención de películas delgadas de nitruros de elementos del grupo 13 por el método de erosión catódica

dc.contributor.authorAngelito Baños, Josafat
dc.date.accessioned2023-10-25T20:36:55Z
dc.date.available2023-10-25T20:36:55Z
dc.date.issued2004
dc.identifier.urihttps://repositorio.cinvestav.mx/handle/cinvestav/4519
dc.formatpdf
dc.format.extentvii, 89 h. : il. ; 28 cm.
dc.language.isospa
dc.publisherTesis (M.C.)--Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del I.P.N. Unidad Querétaro
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4
dc.subject.classificationINGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.subject.otherDissertations, Academic
dc.titleObtención de películas delgadas de nitruros de elementos del grupo 13 por el método de erosión catódica
dc.typemasterThesis
dc.contributor.directorJiménez Sandoval, Omar
dc.contributor.directorJiménez Sandoval, Sergio Joaquín
dc.identificator7
dc.coverage.placeofpublicationSantiago de Querétaro, Querétaro, México
dc.description.institutionCINVESTAV
dc.description.unidadUnidad Querétaro
dc.thesis.areaTecnología y Ciencias de la Ingeniería
dc.thesis.degreedepartmentUnidad Querétaro
dc.thesis.degreedisciplineIngeniería de Materiales
dc.rights.accessopenAccess


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