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Dependencia de la estructura de nanopelículas de HfO₂ con el procesamiento

dc.contributor.authorMani González, Pierre Giovanni
dc.date.accessioned2023-10-31T17:44:49Z
dc.date.available2023-10-31T17:44:49Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.urihttps://repositorio.cinvestav.mx/handle/cinvestav/4702
dc.formatpdf
dc.format.extentxiv, 122 h. : ill. ; 28 cm.
dc.language.isospa
dc.publisherTesis (D.C.)--Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del I.P.N. Unidad Querétaro
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4
dc.subject.classificationINGENIERÍA Y TECNOLOGÍA
dc.subject.otherDielectric films||Thin films::Microstructure||Dissertations, Academic
dc.titleDependencia de la estructura de nanopelículas de HfO₂ con el procesamiento
dc.typedoctoralThesis
dc.contributor.directorHerrera Gómez, Alberto
dc.identificator7
dc.coverage.placeofpublicationSantiago de Querétaro, Querétaro, México
dc.description.institutionCINVESTAV
dc.description.unidadUnidad Querétaro
dc.thesis.areaTecnología y Ciencias de la Ingeniería
dc.thesis.degreedepartmentUnidad Querétaro
dc.thesis.degreedisciplineIngeniería de Materiales
dc.rights.accessopenAccess


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